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TESCOM 12系列无弹簧无螺纹调压器功能特性介绍

发布时间:2020/9/24      浏览次数:1441

 TESCOM 12系列无弹簧无螺纹调压器是一种微型超高纯度工业气体 (IGS)/VCR® 减压型调压器。

 TESCOM 12系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光洁度,采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。 进口压力为 150 psig / 10.3 bar,出口压力为 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar,流速可达 120 SLPM。 非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。

 

TESCOM 12系列无弹簧无螺纹调压器功能特性介绍:

· 适用于高级 OEM 气体系统的理想产品

· 高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能

· 适用范围广,性能*

· 流量:2 SCFM 至 120 SLPM

· 在微型元件中提供的压降和重复性

· 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封,提供壹流的密封性

· 内部表面光洁度为 10 Ra 或 5 Ra 微英寸

· 符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格

 

TESCOM 12系列无弹簧无螺纹调压器规格参数:

额定压力:
大进口压力:150 psig / 10.3 bar
大出口压力:250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材质:
阀体:316L VAR 不锈钢
阀膜:Hastelloy®
阀座:PCTFE
阀杆:Hastelloy®
其他部件材质:316L VAR 不锈钢
工作温度:-40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C
连接件:
焊接:1/4" VCR® 或管接头
表面安装:1.125" 或 1.50" 占用空间
流通能力:
标准:Cv = 0.04
高流量:Cv = 0.08

 

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TESCOM调压器原装正品型号:

TESCOM 44-1813-24-156

TESCOM 44-2213-241

TESCOM 44-2261-241-118

TESCOM 44-2664-242

TESCOM 44-3413S24

TESCOM 5200-111288

TESCOM 63428 -

TESCOM DKA66VVV9AHH9-02

TESCOM ER5000SI-1

TESCOM ER5000SV-1

TESCOM JT389-10158

TESCOM JT389-9122 

TESCOM 26-1016-26-098  

TESCOM 26-1761-24-360

TESCOM 389-2127

TESCOM 389-2541

TESCOM 389-6360

TESCOM 389-6573

TESCOM 389-6879

TESCOM 389-6986

TESCOM 389-7029


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