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发布时间:2020/9/24
浏览次数:1441TESCOM 12系列无弹簧无螺纹调压器是一种微型超高纯度工业气体 (IGS)/VCR® 减压型调压器。
TESCOM 12系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光洁度,采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。 进口压力为 150 psig / 10.3 bar,出口压力为 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar,流速可达 120 SLPM。 非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。
TESCOM 12系列无弹簧无螺纹调压器功能特性介绍:
· 适用于高级 OEM 气体系统的理想产品
· 高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能
· 适用范围广,性能*
· 流量:2 SCFM 至 120 SLPM
· 在微型元件中提供的压降和重复性
· 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封,提供壹流的密封性
· 内部表面光洁度为 10 Ra 或 5 Ra 微英寸
· 符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格
TESCOM 12系列无弹簧无螺纹调压器规格参数:
额定压力:
大进口压力:150 psig / 10.3 bar
大出口压力:250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材质:
阀体:316L VAR 不锈钢
阀膜:Hastelloy®
阀座:PCTFE
阀杆:Hastelloy®
其他部件材质:316L VAR 不锈钢
工作温度:-40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C
连接件:
焊接:1/4" VCR® 或管接头
表面安装:1.125" 或 1.50" 占用空间
流通能力:
标准:Cv = 0.04
高流量:Cv = 0.08
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TESCOM调压器原装正品型号:
TESCOM 44-1813-24-156
TESCOM 44-2213-241
TESCOM 44-2261-241-118
TESCOM 44-2664-242
TESCOM 44-3413S24
TESCOM 5200-111288
TESCOM 63428 -
TESCOM DKA66VVV9AHH9-02
TESCOM ER5000SI-1
TESCOM ER5000SV-1
TESCOM JT389-10158
TESCOM JT389-9122
TESCOM 26-1016-26-098
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TESCOM 389-6360
TESCOM 389-6573
TESCOM 389-6879
TESCOM 389-6986
TESCOM 389-7029